Турбомолекулярный насос. Его конструкция и принцип работы

Турбомолекулярный насос – оборудование, которое предназначено для создания среднего и высокого уровня технического вакуума. Он относится к категории осевых компрессоров. В нем несколько ступеней.

Турбомолекулярный насос ТМН

Турбомолекулярный насос и его конструкция

Агрегат сконструирован и запатентован в 1958 году. С того времени его эффективно использую в различных отраслях промышленности и сельского хозяйства. У него много преимуществ. Турбомолекулярный насос ТМН создают чистый вакуум без примесей масляных молекул. Его можно использовать в работе с коррозионными и агрессивными веществами. Кроме этого, оборудование работает в широком диапазоне давлений. Оно практичное, надежное и долговечное.

Конструкция турбомолекулярного насоса ТМН:

  • Корпус. Он выполнен из прочного металла с антикоррозионным покрытием.
  • Ротор с пластинами. Эти элементы находятся внутри корпуса в рабочем пространстве.
  • Вал. Он вращает ротор. Его расположение: вертикальное или горизонтальное.
  • Двигатель. С его помощью обеспечивается движение вала. К нему подведена электрическая энергия.
  • Входные и выходные отверстия. Через них вещество поступает в рабочее пространство и выводится из него.
  • Специализированная арматура. Она представлена фланцами и другими соединительными элементами и уплотнителями.

Ротор расположен вертикально или горизонтально. Опоры оборудования представлены подшипниками, магнитными подвесами и газодинамическими опорами. К недостаткам в эксплуатации ТМН является быстрый износ подшипников.

Устройство турбомолекулярного насос ТМН Москва

Агрегаты востребованы в производстве электроники и полупроводниковой продукции. Ими оснащают испытательные и лабораторные установки. С их помощью проводят окрашивание любых поверхностей под воздействием вакуума и высокой температуры. Кроме этого, турбомолекулярные насосы ТМН позволяют выполнять сложные технологические процессы. Например, ионную имплантацию, литографию, травление и распыление частиц.

Турбомолекулярный насос принцип работы

Работа ТМН основана на движении молекул откачиваемого вещества. Им передается дополнительное движение в результате вращения колес с пластинами. Между них образуются полости сжатия. Проходя через них, молекулам рабочей среды передается дополнительная скорость движения. В результате этого они перемещаются к нагнетательному отверстию, выводятся из установки.

Оставьте ответ

© Kak-ya.ru

Свяжитесь с нами: sale@kak-ya.ru
+7 (499) 213-78-08