Эпитаксия. Ее виды и характеристики

On Мар 5, 2018 0

Эпитаксия – технологический процесс, в котором происходит выращивание кристаллов на любом материале низких температур. Существует гетероэпитаксия – выращивание кристаллов на подложке из некристаллического материала. Гомоэпитаксия – выращивание кристаллического материала на аналогичной подложке. Эндотаксия – рост кристалла в структуре другого материала.

Эпитаксия

Преимуществами этого метода является возможность роста кристаллов при невысоком температурном режиме. Это позволяет не использовать в его проведении высокотемпературного оборудования. Наращивание материала контролируется и моделируется в соответствии с параметрами подложки. В результате такого техпроцесса удается получить чистые материалы. В их структуре отсутствуют примеси и различные дефекты. Плотность этой структуры зависит от заданных параметров выращивания наноструктур.

Виды эпитаксии

С помощью такого процесса выращивают различные материалы на специальной подложке. В качестве последнего элемента выступают прочные структуры. Таким способом производят искусственный кремний.

Виды эпитаксиального выращивания:

Газофазная. Материал получают посредством осаждения паров и газов исходной фазы. Процесс проводят при низком атмосферном давлении. Его создают в герметичных камерах. Температура подложки для выполнения производства наноструктуры должна составлять +400 или +1200 С°. Выбор температурного режима зависит от плотности структуры подложки. Эпитаксию выполняют пиролитическим разложением моносилана и водородным восстановлением.
Жидкостная. Материал получают из жидкой фазы. Процесс проводят в атмосфере азота, вакуума или водорода. Он позволяет получать многослойные структуры. Этот способ не слишком востребован в промышленности. Он характеризуется низкой рентабельностью.
Молекулярно-лучевая. Этот способ получения материалов был запатентован в 1960 году. Он подразумевает эпитаксиальный рост на уровне молекул исходных материалов. Его выполняют в вакуумной среде.

Эпитаксиальные материалы востребованы в различных областях жизнедеятельности человека.